Rigaku Holdings Corporation旗下的株式会社Rigaku（东京都昭岛市）宣布开发出了利用超高分辨率X射线显微镜对3D闪存缺陷进行无损检测和测量的突破性技术，并凭借此项研究成果获得了半导体光刻技术领域最佳论文奖“The Diana Nyy

半导体 光刻 rigaku 半导体光刻 昭岛市 2025-09-16 11:37  2